Вплив термообробки на мікроструктуру та механічні властивості тонких плівок нітриду бору, отриманих методом радіочастотного магнетронного розпилення

Abstract

У дослідженні розглянуто вплив термообробки на мікроструктуру та механічні властивості тонких плівок нітриду бору, осаджених на підкладки з нержавіючої сталі 316L методом радіочастотного магнетронного розпилення. Термічний відпал проводили при температурі 850 °C протягом 1,5 години в атмосфері азоту для оцінки впливу контрольованого нагріву на структурні та функціональні характеристики покриттів. Комплексна характеристика дозволила дослідити еволюцію фаз, мікроструктурні перетворення та механічну поведінку плівок. Було встановлено, що відпал призвів до суттєвого покращення механічних властивостей: твердість зросла з 5,35 ГПа для вихідних зразків до 11,4 ГПа. Отримані результати доводять, що оптимально підібраний режим термообробки підвищує фазову стабільність, щільність та механічну цілісність покриттів BN, що робить їх придатними для використання у промислових застосуваннях.