Порівняльний аналіз перебігу розупорядкування кристалічної та магнітної мікроструктур приповерхневих шарів плівок ЗІҐ при імплантації іонами фтору та кремнію

Abstract

Здійснено порівняльний аналіз процесів радіаційного розупорядкування структури приповерхневого шару епітаксійної плівки залізо-ітрієвого ґранату (ЗІҐ) та його магнітної мікроструктури при імплантації іонами F + та Si+ з енергією 90 кеВ і дозами 1×1013 , 6×1013 та 1×1014 см-2 . Теоретичні результати моделювання розподілів енергетичних втрат іонів-імплантантів, ймовірностей утворення каскадів вторинних зміщень, профілів структурного розупорядкування співставлено з результатами обробки експериментальних конверсійних електронних месбауерівських (КЕМ) спектрів.