Структурні властивості ZnO-плівок, отриманих на SiC/пористому-Si методом ВЧ-магнетронного напилення

Ревенко, А. С.; Кiдалов, Валерій Віталійович; Гудименко, Олександр Йосипович

Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/23988

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Ревенко, А. С.	-
dc.contributor.author	Кiдалов, Валерій Віталійович	-
dc.contributor.author	Гудименко, Олександр Йосипович	-
dc.date.accessioned	2025-11-20T10:14:05Z	-
dc.date.available	2025-11-20T10:14:05Z	-
dc.date.issued	2025	-
dc.identifier.citation	Ревенко А. С. Структурні властивості ZnO-плівок, отриманих на SiC/пористому-Si методом ВЧ-магнетронного напилення / А. С. Ревенко, В. В. Кiдалов, О. Й. Гудименко // Фізика і хімія твердого тіла. - 2025. - Т. 26. - № 3. - С. 699-704.	uk_UA
dc.identifier.other	10.15330/pcss.26.3.699-704	-
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/123456789/23988	-
dc.description.abstract	Досліджено морфологічні та структурні властивості тонких плівок ZnO, вирощених методом ВЧ-магнетронного напилення на підкладці SiC/пористий-Si/Si. Формування гетероструктури ZnO/SiC/пористий-Si/Si проводили у два етапи: осадження плівок SiC методом твердотільної епітаксії, а потім осадження плівок ZnO методом ВЧ-магнетронного напилення. Буферні шари SiC на підкладці з пористого кремнію забезпечили зниження залишкових механічних напружень у плівках ZnO, значення яких становило -82.3 МПа. Порівняльний аналіз з літературними даними вказує на відносно високу якість отриманих структур.	uk_UA
dc.language.iso	en	uk_UA
dc.publisher	Карпатський національний університет імені Василя Стефаника	uk_UA
dc.subject	поруватий кремній	uk_UA
dc.subject	рентгенівська дифракція	uk_UA
dc.subject	ZnO	uk_UA
dc.subject	XRD	uk_UA
dc.subject	SiC	uk_UA
dc.subject	скануюча електронна мікроскопія	uk_UA
dc.title	Структурні властивості ZnO-плівок, отриманих на SiC/пористому-Si методом ВЧ-магнетронного напилення	uk_UA
dc.title.alternative	Structural properties of ZnO films obtained on SiC/porous-Si by the method of high frequence magnetron sputtering	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
Appears in Collections:	Т. 26, № 3

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
28_Revenko(e).pdf		773.52 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record

DSpace JSPUI

DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets