1. Carpathian National University Repository
  2. Періодичні видання ПНУ
  3. Наукові журнали
  4. Фізика і хімія твердого тіла
  5. 2025
  6. Т. 26, № 3
Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: http://hdl.handle.net/123456789/23988
Назва: Структурні властивості ZnO-плівок, отриманих на SiC/пористому-Si методом ВЧ-магнетронного напилення
Інші назви: Structural properties of ZnO films obtained on SiC/porous-Si by the method of high frequence magnetron sputtering
Автори: Ревенко, А. С.
Кiдалов, Валерій Віталійович
Гудименко, Олександр Йосипович
Ключові слова: поруватий кремній
рентгенівська дифракція
ZnO
XRD
SiC
скануюча електронна мікроскопія
Дата публікації: 2025
Видавництво: Карпатський національний університет імені Василя Стефаника
Бібліографічний опис: Ревенко А. С. Структурні властивості ZnO-плівок, отриманих на SiC/пористому-Si методом ВЧ-магнетронного напилення / А. С. Ревенко, В. В. Кiдалов, О. Й. Гудименко // Фізика і хімія твердого тіла. - 2025. - Т. 26. - № 3. - С. 699-704.
Короткий огляд (реферат): Досліджено морфологічні та структурні властивості тонких плівок ZnO, вирощених методом ВЧ-магнетронного напилення на підкладці SiC/пористий-Si/Si. Формування гетероструктури ZnO/SiC/пористий-Si/Si проводили у два етапи: осадження плівок SiC методом твердотільної епітаксії, а потім осадження плівок ZnO методом ВЧ-магнетронного напилення. Буферні шари SiC на підкладці з пористого кремнію забезпечили зниження залишкових механічних напружень у плівках ZnO, значення яких становило -82.3 МПа. Порівняльний аналіз з літературними даними вказує на відносно високу якість отриманих структур.
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): http://hdl.handle.net/123456789/23988
Розташовується у зібраннях:Т. 26, № 3

Файли цього матеріалу:
Файл Опис РозмірФормат 
28_Revenko(e).pdf773.52 kBAdobe PDFПереглянути/Відкрити
Показати повний опис матеріалу Перегляд статистики


Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.