DSpace JSPUI
DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets
Learn More
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/23988| Title: | Структурні властивості ZnO-плівок, отриманих на SiC/пористому-Si методом ВЧ-магнетронного напилення |
| Other Titles: | Structural properties of ZnO films obtained on SiC/porous-Si by the method of high frequence magnetron sputtering |
| Authors: | Ревенко, А. С. Кiдалов, Валерій Віталійович Гудименко, Олександр Йосипович |
| Keywords: | поруватий кремній рентгенівська дифракція ZnO XRD SiC скануюча електронна мікроскопія |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | Карпатський національний університет імені Василя Стефаника |
| Citation: | Ревенко А. С. Структурні властивості ZnO-плівок, отриманих на SiC/пористому-Si методом ВЧ-магнетронного напилення / А. С. Ревенко, В. В. Кiдалов, О. Й. Гудименко // Фізика і хімія твердого тіла. - 2025. - Т. 26. - № 3. - С. 699-704. |
| Abstract: | Досліджено морфологічні та структурні властивості тонких плівок ZnO, вирощених методом ВЧ-магнетронного напилення на підкладці SiC/пористий-Si/Si. Формування гетероструктури ZnO/SiC/пористий-Si/Si проводили у два етапи: осадження плівок SiC методом твердотільної епітаксії, а потім осадження плівок ZnO методом ВЧ-магнетронного напилення. Буферні шари SiC на підкладці з пористого кремнію забезпечили зниження залишкових механічних напружень у плівках ZnO, значення яких становило -82.3 МПа. Порівняльний аналіз з літературними даними вказує на відносно високу якість отриманих структур. |
| URI: | http://hdl.handle.net/123456789/23988 |
| Appears in Collections: | Т. 26, № 3 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 28_Revenko(e).pdf | 773.52 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.